气动高真空球阀是一种专门设计用于高真空环境下的自动化控制阀。它采用气动执行器驱动，能够实现快速启闭和 控制。阀体材质选用不锈钢，具备优异的耐腐蚀性和密封性能，能够在高真空系统中有效防止泄漏，确保系统的真空度。该阀门广泛应用于半导体制造、真空镀膜、光电产业、科研实验等领域，适用于各种高真空及超高真空系统。

结构

1. 阀体： 高强度不锈钢材质，耐腐蚀，耐高温，确保长期稳定运行。
2. 球芯： 精密加工的不锈钢球芯，表面光洁度高，减少摩擦，延长使用寿命。
3. 密封圈： 采用高品质的氟橡胶（FKM）或聚四氟乙烯（PTFE）材料，确保高真空密封性能。
4. 阀杆： 高强度不锈钢阀杆，表面经过硬化处理，耐磨损。
5. 执行器： 气动执行器采用铝合金材质，轻便耐用，分为单作用和双作用两种类型。
6. 连接方式： 法兰连接或卡箍连接，确保安装的便利性和密封性。

工作原理

气动高真空球阀通过压缩空气驱动气动执行器，使阀杆带动球芯旋转，实现阀门的开启和关闭。具体工作原理如下：

1. 打开阀门： 当气动执行器接收到开阀信号时，压缩空气进入执行器的开阀气室，推动活塞运动，带动阀杆和球芯旋转，阀门逐渐开启，介质通过。
2. 关闭阀门： 当气动执行器接收到关阀信号时，压缩空气进入执行器的关阀气室，推动活塞反向运动，带动阀杆和球芯旋转，阀门逐渐关闭，介质流动被切断。
3. 调节流量： 通过控制压缩空气的输入量，可以 控制球芯的旋转角度，从而实现对介质流量的精准调节。

技术参数

以下是一款经典型号的气动高真空球阀的技术参数：

• 公称通径： DN10-DN100
• 公称压力： 0.1MPa
• 适用温度： -20°C至+150°C
• 阀体材质： 不锈钢304、不锈钢316L
• 球芯材质： 不锈钢304、不锈钢316L
• 密封材质： FKM、PTFE
• 连接方式： 法兰连接、卡箍连接
• 执行器类型： 单作用、双作用气动执行器
• 控制信号： 4-20mA、0-10V
• 气源压力： 0.4-0.7MPa

特点

1. 高真空密封： 采用 密封材料，确保高真空环境下的密封性能。
2. 耐腐蚀性强： 不锈钢材质阀体和球芯，适用于多种腐蚀性介质。
3. 快速启闭： 气动执行器驱动，操作迅速，提高工作效率。
4. 自动化控制： 支持远程自动化控制，适应现代化工业需求。
5. 结构紧凑： 设计紧凑，安装方便，节省空间。
6. 耐用性好： 高强度材料和精密加工，延长阀门使用寿命。

作用

气动高真空球阀在高真空系统中具有以下作用：

1. 流量控制： 控制介质流量，实现系统内介质的开关和调节。
2. 自动化操作： 气动执行器实现远程自动化控制，提升生产效率和操作便捷性。
3. 确保真空度： 优异的密封性能，防止泄漏，确保系统的高真空度。
4. 多介质适用： 适用于液体、气体、蒸汽等多种介质，广泛应用于真空系统。
5. 系统安全性： 高耐腐蚀性和耐用性，确保系统长期安全稳定运行。

总结

气动高真空球阀凭借其高效的自动化控制能力和优异的真空密封性能，成为高真空系统中的重要控制元件。其结构紧凑、安装方便、密封性能优越，使其在半导体制造、真空镀膜、光电产业、科研实验等领域得到了广泛应用。通过实现对介质流量的精准控制，气动高真空球阀在提高系统效率、保障真空度和延长设备使用寿命等方面发挥了重要作用，是现代高真空系统中不可或缺的关键阀门。