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产品展厅
进口高纯气体减压阀
  • 品牌:美国米勒
  • 货号:F20223143
  • 价格: ¥1470/台
  • 发布日期: 2024-01-15
  • 更新日期: 2025-02-27
产品详请
外型尺寸 DN25-DN600
货号 F20223143
品牌 美国米勒
用途 半导体制造
型号 MILLER
工作压差 1.0~1.6Mpa
制造商 米勒
压力环境 常压
介质温度 0~+60℃
驱动方式 电动
适用介质 氮气
是否进口

高压气体减压阀

高纯气体减压阀是专为处理高纯度气体而设计的阀门产品,主要用于确保在实验室、半导体生产、医疗设备以及其他高技术应用中对气体的高度精准控制。这种减压阀的关键任务是维持系统中纯净气体的恒定压力,以满足对高纯气体质量和稳定性的 要求。


主要技术参数和性能指标: 

公称压力(Mpa) 1.6 2.5 4.0 6.4 10.0 16.0
壳体试验压力(Mpa)* 2.4 3.75 6.0 9.6 15.0 24
密封试验压力(Mpa) 1.6 2.5 4.0 6.4 10.0 16.0
进口压力(Mpa) 1.6 2.5 4.0 6.4 10.0 16.0
出口压力范围(Mpa) 0.1-1.0 0.1-1.6 0.1-2.5 0.5-3.5 0.5-3.5 0.5-4.5
压力特性偏差(Mpa)△P2P GB12246-1989
流量特性偏差(Mpa)P2G GB12246-1989
最小压差(Mpa) 0.15 0.15 0.2 0.4 0.8 1.0
渗漏量 X/F(聚四氟乙稀/橡胶):O Y(硬密封):GB12245-1989


1.结构和工作原理:

高纯气体减压阀的结构主要包括阀体、阀芯、调节弹簧、传感器等关键部分。其工作原理类似于一般减压阀,通过感应系统压力并与设定值进行比较,然后通过调整阀芯的位置来实时调整气体压力。关键之处在于对材料的选择和制造过程的 要求,以防止对气体纯度造成任何污染。

2.主要特点:

  • 极高纯度: 材料的选择和制造工艺的特殊设计确保高纯气体减压阀对气体的纯度影响降到 。

  • 精准调控: 高纯气体减压阀能够在极短的时间内响应压力变化,提供高度精准的气体压力调控。

  • 材料耐腐蚀: 采用耐腐蚀的特殊合金或不锈钢等材料,以确保在处理腐蚀性气体时不会影响气体纯度。

  • 密封性能 : 阀座和阀芯之间的密封设计严格执行,防止气体泄漏,确保系统的稳定性。

3。应用领域:

高纯气体减压阀广泛应用于以下领域:

  • 半导体制造: 在半导体生产中,高纯气体是必不可少的,高纯气体减压阀用于确保对气体的精准控制,维持生产过程的稳定性。

  • 实验室研究: 在科研实验中,对高纯气体进行精准控制,确保实验结果的准确性。

  • 医疗设备: 用于医疗气体供应系统,如H2O、He等,确保医疗设备获得高质量的气体供应。

  • 光伏产业: 在太阳能电池制造等光伏产业中,对高纯气体的需求极高,高纯气体减压阀保证气体质量和供应稳定性。

4.定制化服务与智能监控:

美国米勒提供定制化服务,以满足客户在流体控制、阀门规格和材料选择方面的特定需求。一些先进的产品还可能配备智能监控系统,通过传感器实时监测阀门状态,提供远程监控和故障诊断功能。

结语:

高纯气体减压阀在高技术应用领域中扮演着不可或缺的角色,为确保高纯度气体的精准控制提供了关键性的支持。其对纯净性、耐腐蚀性和密封性的高要求使得其成为处理高纯气体的理想选择,为高科技产业提供了可靠的气体控制解决方案。

高纯气体减压阀